衛浴巨頭搶吃AI大餅 TOTO砸300億日元進軍半導體陶瓷

以馬桶、衛浴設備聞名的日本 TOTO 正加速搶進 AI 半導體供應鏈。隨著 AI GPU、HBM 及先進晶片需求成長，TOTO 計劃投入 300 億日元擴大半導體先進陶瓷布局，其中 170 億日元將用於興建陶瓷研發大樓，將數十年累積的陶瓷技術轉化為新成長動能。

TOTO 布局精密陶瓷並非近期才開始。公司早在 1976 年便啟動相關研究，1984 年正式投入陶瓷業務，並在中長期策略「WILL2030」中，將半導體先進陶瓷定位為核心成長領域，業務觸角也從傳統衛浴陶瓷逐步延伸至半導體及光通訊市場。

目前 TOTO 的半導體陶瓷產品主要包括靜電卡盤（ESC）與 AD 氣溶膠沉積陶瓷零件。靜電卡盤利用靜電力固定晶圓，由於先進製程對溫度、平整度及顆粒控制要求嚴格，因此成為晶片製造設備的重要零件。

另一項 AD 氣溶膠沉積技術，則是以接近音速噴射陶瓷粉末，形成緻密的氧化釔陶瓷膜，具備抗等離子腐蝕能力，可降低晶片生產過程中的顆粒污染，性能優於傳統熱噴塗製程。

隨著 AI GPU、HBM 與先進晶片需求爆發，也持續推升這兩類產品需求。

研發、量產同步擴張

為掌握半導體需求，TOTO 採取研發與製造同步擴張策略。研發方面，茅崎基地負責技術開發，新建大樓將主攻下一代靜電卡盤及 AD 零件技術；量產則由中津工廠及豐前工廠負責。

其中，豐前工廠的靜電卡盤燒成廠房已於 2025 年 12 月開工，預計 2027 年 1 月投產，中津工廠也已完成多輪擴建。透過「茅崎研發、中津與豐前製造」的分工模式，TOTO 逐步建立從材料開發、設計、生產到性能驗證的完整體系。

AI 需求一路傳導至上游陶瓷

AI 算力擴張帶來的需求已不只集中在 GPU 與 HBM，也進一步傳導至半導體設備與材料。過去相對小眾的靜電卡盤、氧化釔塗層等零件，在晶片製造的高溫及強等離子環境下扮演重要角色，高性能特種陶瓷更直接影響製程良率。

TOTO 正將長年在衛浴陶瓷領域累積的材料與燒結工藝轉移至半導體材料，且本輪投資並非終點，公司後續還規劃更大規模擴產。隨著 AI 半導體需求向上游延伸，傳統陶瓷業者也正逐步深入半導體供應鏈。