〈閎康展望〉全台首部TEM啟用 搶2奈米以下製程商機

檢測分析業者閎康 (3587-TW) 董事長謝詠芬今 (1) 日表示，為協助晶圓代工龍頭推進 2 奈米以下製程開發，公司在竹科矽導實驗室導入全球頂級的超埃米解析球差校正穿透式電子顯微鏡 (Cs Corrector TEM)，本月正式投入營運。

謝詠芬說，該設備適用於 GAAFET、FinFET 等先進晶體管結構分析，可協助加速 2 奈米及更先進製程節點的開發驗證，提供晶圓代工廠、IDM、先進封裝與 IC 設計廠完整的材料分析 (MA) 及故障分析 (FA) 服務。

謝詠芬補充，該設備總投資超過 500 萬美元，高達 3.3 公尺，造價為傳統電子顯微鏡的三倍以上，再度提升同業投資的競爭門檻，其具備超埃米級成像解析能力，可精準觀測 1 奈米以下的啞鈴型對稱影像，呈現原子級電子軌域細節，大幅提升先進製程材料與結構研究的深度與效率。

除了持續強化製程與封裝分析能力之外，閎康在量子元件分析領域也取得全球性技術突破，公司與陽明交通大學李佩雯教授合作，運用早已於 2019 年安裝於名古屋實驗室的原子解析力穿透式電子顯微鏡 (ARM)，建立全球首創的量子點元件 3D 影像技術。

閎康說，此項技術可提供原子尺度下的量子點幾何形貌與晶體結構資訊，對於推動量子位元、量子感測與矽光子元件的發展具有關鍵價值。